キヤノンのi線半導体露光装置「FPA-8000iW」

 キヤノンは、高い生産性と大型化など半導体チップの先端パッケージングを可能にしたi線(水銀ランプ波長)半導体露光装置を市場に投入した。

 半導体露光装置は宇都宮光学機器事業所(宇都宮市清原工業団地)で開発、製造している。同社は、第5世代(5G)移動通信システム、IoT(モノのインターネット)化など高まる半導体需要に対し、世界シェア拡大を図る。